碳化硅的超细粉碎设备主要有搅拌磨机、气流磨机、振动磨机及球磨机等。传统的球磨机应用较早,设备稳定性好,但效率低,能耗大,增加了分级难度。振动磨机粉碎效果还可以,但其能耗较高,工作时噪音大,细磨碳化硅这样的硬质材料时设备磨损严重,气流磨机生产效率高,生产能力小。